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INFICON ModeLock 技术确保获得****定的速率和厚度测量分辨率,即使在速率极低的情况下
Auto Z 技术通过自动测定沉积材料的 Z 比值,提高厚度测量的精度
一个 IC6 即可同时、单独或以任何组合方式控制** 6 个来源,无需使用两个或三个控制器
彩色 TFT LCD 显示屏使用户很容易看到过程的进展状况
10 Hz 测量
100ms 样本速率下频率范围为  /-0.0035 Hz
USB 数据存储功能可存储屏幕截图、配方存储和数据记录
多个源厚度合计功能
测量低密度、低速率材料的平均速率(使用稳定源的低速率 OLED 掺杂材料沉积** 30 秒)
速率显示分辨率可达 0.001/s
4 米 XIU 选件能够在大型系统中使用较长的真空传感器电缆
无沉积控制允许持续控制源,因为基片可以通过沉积室不断循环
6 个标准 DAC 输出和另外 6 个可选输出用于来源控制、速率或厚度监控


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